振動規範
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最大振動值
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加工尺寸 微米
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建議適用環境描述
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微英寸/秒
micro-in/sec
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毫米/秒
(rms)
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dB
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一般工業區
Workshop
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32000
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0.813
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90
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無
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明顯振動、適用於工廠與對振動不敏感之區域。
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商業區
Office
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16000
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0.406
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84
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無
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有感振動、適用於辦公室與對振動不敏感之區域。
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住宅區
Residential Day
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8000
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0.203
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78
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75
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微感振動、適用於住宅區、電腦機房、大部分的電腦設備、測試用的探頭設備及20倍以下低倍率的顯微鏡均可勝任。
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手術或實驗室
Op. Theatre
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4000
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0.102
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72
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25
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無感振動、適用於實驗室、精密檢測設備與100 倍內低倍率的顯微鏡及其他對振動敏感低的儀器。
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VC-A
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2000
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0.051
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66
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8
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適用於微量天平、光學天平、近接式和投射式調準器(aligner)與放大倍率至400倍的光學顯微鏡。
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VC-B
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1000
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0.025
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60
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3
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適用於解折度為3μm製程的光學檢測設備 (Stepper)或平板印刷機與多數 1000 倍內之光學顯微鏡。
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VC-C
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500
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0.0125
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54
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1
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適用於解折為1μm線寬製程之平板印刷機和檢驗機與大部分光電廠精密設備。
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VC-D
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250
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0.0054
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48
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0.3
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適用於高要求之電子顯微鏡(TEMs、SEMs)及E-Beam、Scanner 等系統與大部分晶圓廠精密設備。
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VC-E
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125
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0.0032
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42
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0.1
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在大部分的情況下此一標準不易達到,適用於雷射路徑長、對準目標極小、特殊動態穩定需求的精密儀器與奈米級製程設備。
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