振動規範

最大振動值

加工尺寸
微米

建議適用環境描述

微英寸/秒

micro-in/sec

毫米/秒

(rms)

dB

一般工業區

Workshop

32000

0.813

90

無

明顯振動、適用於工廠與對振動不敏感之區域。

商業區

Office

16000

0.406

84

無

有感振動、適用於辦公室與對振動不敏感之區域。

住宅區

Residential Day

8000

0.203

78

75

微感振動、適用於住宅區、電腦機房、大部分的電腦設備、測試用的探頭設備及20倍以下低倍率的顯微鏡均可勝任。

手術或實驗室

Op. Theatre

4000

0.102

72

25

無感振動、適用於實驗室、精密檢測設備與100 倍內低倍率的顯微鏡及其他對振動敏感低的儀器。

VC-A

2000

0.051

66

8

適用於微量天平、光學天平、近接式和投射式調準器(aligner)與放大倍率至400倍的光學顯微鏡。

VC-B

1000

0.025

60

3

適用於解折度為3μm製程的光學檢測設備 (Stepper)或平板印刷機與多數 1000 倍內之光學顯微鏡。

VC-C

500

0.0125

54

1

適用於解折為1μm線寬製程之平板印刷機和檢驗機與大部分光電廠精密設備。

VC-D

250

0.0054

48

0.3

適用於高要求之電子顯微鏡(TEMs、SEMs)及E-Beam、Scanner 等系統與大部分晶圓廠精密設備。

VC-E

125

0.0032

42

0.1

在大部分的情況下此一標準不易達到，適用於雷射路徑長、對準目標極小、特殊動態穩定需求的精密儀器與奈米級製程設備。